檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "周振嘉".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="薄膜"
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本研究利用共濺鍍系統沉積出TaN(Cu)的混合薄膜,並使用電漿氧化的方式直接氧化下電極製作出中間電阻層,之後再沉積出TaN薄膜當作上電極,製備出TaN/Cu-TaOx/TaN(Cu)的MIM三層結構…
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電阻式隨機存取記憶體(RRAM) 已經引起相當大的關注於下一代非揮發性記憶體的應用,由於其結構簡單可應用於高密度積體電路,也可以兼容於傳統的互補式金屬氧化物半導體(CMOS),並且具有低操作功率、開…
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目前市面上已被廣泛使用的記憶體,如:動態隨機存取記憶體(DRAM, Dynamic Random Access Memory)及快閃記憶體(flash memory)等,在元件的尺寸大小及密度都已達…